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本发明公开了一种半导体设备控制系统,包括控制开关、连接插线、按键、固定杆、转动销一、复位盘簧一、转动杆、U型杆、凹槽、滑槽、导杆、滑块、保护壳、齿条一、齿条二、弹簧一、固定块、弹簧二、椭圆块一、椭圆块二、安装块、转动销二、复位盘簧二、磁块一...该专利属于江苏佳晟精密设备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏佳晟精密设备科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种半导体设备控制系统,包括控制开关、连接插线、按键、固定杆、转动销一、复位盘簧一、转动杆、U型杆、凹槽、滑槽、导杆、滑块、保护壳、齿条一、齿条二、弹簧一、固定块、弹簧二、椭圆块一、椭圆块二、安装块、转动销二、复位盘簧二、磁块一...