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本发明公开了一种运用AI和大数据管理的半导体制造缺陷自动管理方法,包括以下步骤:一、当缺陷检测以及review(拍照)完成后,由AI模型-1运行平台自动读取review结果并进行分类,其中拍照设置为20秒100张图片;二、分类完成后,由系统...该专利属于上海众壹云计算科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海众壹云计算科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种运用AI和大数据管理的半导体制造缺陷自动管理方法,包括以下步骤:一、当缺陷检测以及review(拍照)完成后,由AI模型-1运行平台自动读取review结果并进行分类,其中拍照设置为20秒100张图片;二、分类完成后,由系统...