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本发明公开了一种基于ITO定向耦合器的硅电光调制器。硅电光调制器由总线波导和副线波导构成，本发明工作于偏压状态时，ITO载流子浓度增加，相应的副线波导中的模式有效折射率以及吸收系数发生改变，定向耦合器的耦合效率和衰减系数随之发生变化，总线波...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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