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本发明提供一种硅光光模斑模式转换器及其制造方法，包括二氧化硅悬臂、过渡波导、主波导、硅衬底、第一包层、第二包层、第三包层，所述第一包层置于所述硅衬底上方，所述主波导置于第一包层上方，所述主波导与过渡波导中间为第二包层，所述过渡波导上设置第三...
该专利属于杭州芯耘光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州芯耘光电科技有限公司授权不得商用。

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