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本发明公开了一种同质集成激光器、反射镜和探测器的通信芯片及制备方法，芯片基于硅衬底氮化镓晶圆制备，采用相同工艺步骤制备了两个单片集成的激光二极管，反射镜在刻蚀激光二极管的阶梯状台阶时同时获得，激光二极管在受激辐射模式下工作时作为光源向外发射...
该专利属于南京工程学院所有，仅供学习研究参考，未经过南京工程学院授权不得商用。

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