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本发明公开了一种透明样品缺陷自动检测方法和检测装置。该方法包括：根据透明样品的半径r获取照明光束的半径R，照明光束的半径R不小于透明样品的直径2r；将透明样品置于载物台上，透明样品与物镜的中心轴不重合；空间光调制器设置于物镜的像面，并设置为...
该专利属于上海御微半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海御微半导体技术有限公司授权不得商用。

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