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本发明公开了一种温度补偿型声表面波器件的温补层上表层表面波抑制方法,包括如下步骤:1)清洗晶片;2)在晶片的器件面上制作声表面波器件的金属芯片;3)在金属芯片的金属面制作温度补偿层;4)在温度补偿层上开槽并涂覆吸声胶。本发明能够有效地阻断温...该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种温度补偿型声表面波器件的温补层上表层表面波抑制方法,包括如下步骤:1)清洗晶片;2)在晶片的器件面上制作声表面波器件的金属芯片;3)在金属芯片的金属面制作温度补偿层;4)在温度补偿层上开槽并涂覆吸声胶。本发明能够有效地阻断温...