下载一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法的技术资料

文档序号:23147610

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本发明公开了一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法,根据硅芯生长不同阶段所需恒流维持电压的不同,将维持电压分档设置,每档设置对应的接地电流的预警值和动作值,预警值小于动作值。当维持电压对应的接地电流达到预警值时,进行预警,操作者根据预...
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