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一种轮式双轴微机械陀螺制造技术
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下载一种轮式双轴微机械陀螺的技术资料
文档序号:23146730
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本发明涉及一种轮式双轴微机械陀螺,其特征在于:它包括衬底,锚点,驱动折叠梁,中心连接梁,内环框架,外环框架,多组扭转梁,检测质量块,驱动梳齿和驱动反馈梳齿。固定在衬底上的中心连接梁与内环框架连接,内环框架通过一组扭转梁与检测质量块连接,外环...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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