下载柔性基底纳米孔结构及柔性基底纳米孔阵列的技术资料

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本发明提供一种柔性基底纳米孔结构及纳米孔阵列,包括柔性基底和纳米孔结构,纳米孔结构形成于孔基底上,纳米孔结构包括纳米孔腔、纳米孔,纳米孔腔贯穿孔基底,纳米孔是纳米孔腔的一端开口,纳米孔腔呈非线性缩小腔体或线性缩小腔体向纳米孔延伸;还包括:光...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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