下载剥离装置及剥离方法的技术资料

文档序号:23100982

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本发明涉及一种剥离装置及剥离方法。剥离装置包括固定机构、变形机构及形变源,所述形变源设置于所述变形机构外侧;所述固定机构用于固定所述承载基板,所述变形机构与所述待剥离件连接;所述形变源受控驱动所述变形机构形变,致所述待剥离件形变从所述承载基...
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