下载用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备的技术资料

文档序号:23100977

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本发明涉及一种用于二维材料范德华异质结的真空转移设备,本发明有效解决了现有在制备范德华异质结的时候两二维材料之间容易产生气泡并且不能灵活调节两二维材料相对位置的问题;解决的技术方案包括:在真空筒由正常大气压抽成预设系统压强的过程中,其中一个...
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