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本发明公开了一种实现低电子剂量高分辨成像的光阑、装置及方法，属于显微成像领域。针对现有技术中由于某些对电子较为敏感的样品在荷电粒子束流剂量较大的情况下会受到严重的辐照损伤而影响观测，而减小光阑孔径会导致荷电粒子束流会聚角减小而降低成荷电粒子...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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