下载芯片的衬底的多次使用方法及红外探测器的技术资料

文档序号:23087029

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本发明提出了一种芯片的衬底的多次使用方法及红外探测器,芯片的衬底的多次使用方法包括:在衬底上进行薄膜层的生长制备;将衬底的部分与薄膜层分离,得到分离后的衬底余材;其中,衬底余材可再进行至少一次薄膜层的生长制备。根据本发明的芯片的衬底的多次使...
该专利属于中国电子科技集团公司第十一研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十一研究所授权不得商用。

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