下载负载在位检测装置及离子泵电源系统的技术资料

文档序号:23083881

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本发明涉及一种负载在位检测装置和离子泵电源系统。一种负载在位检测装置,包括:线缆单元,用于连接负载和电源;及电位检测电路,设有检测点,所述检测点通过所述线缆单元与所述负载和所述电源中至少一个的接地端连接,所述电位检测电路用于通过检测所述检测...
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