下载一种硅波导导纳的检测系统的技术资料

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本发明公开了一种硅波导导纳的检测系统,包括交流电源、传感器和硅波导导纳检测电路,传感器包括激发电极、感应电极、衬底、硅层和覆盖层,衬底和覆盖层的材料均为SiO...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。

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