下载检查结构的方法以及检查系统的技术资料

文档序号:23083541

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在一种检查结构的方法中,接收由第一激光束从目标结构中生成的第一超声信号。通过向所述目标结构提供从第一激发单元生成的所述第一激光束来生成所述第一超声信号。接收由不同于第一激光束的第二激光束从所述目标结构生成的第二超声信号。通过向所述目标结构提...
该专利属于韩国科学技术院所有,仅供学习研究参考,未经过韩国科学技术院授权不得商用。

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