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一种用于测量等离子体沉积的动态压阻探针制造技术
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文档序号:23083491
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一种用于测量等离子体沉积的动态压阻探针,使用接触式测量方法对金属推进剂电推力器束流等离子体的沉积情况进行测量的动态压阻探针。测量对象为电推进领域的金属工质锂推力器,测量离子沉积率。采用了一个恒流源通在并联的两块不同材质的金属板上,将等离子体...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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