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本发明公开了一种测量厚度的柔性方法及装置。该装置包括测量主机、标准器、被测试件、试件定位支座、驱动器和数控器七部分。测量主机由机架、编码丝杆和双动悬臂梁传感器组成。编码丝杆由测微丝杆和三态编码器组成。三态编码器由齿盘和四副悬臂梁传感器组成。...
该专利属于烟台大学所有，仅供学习研究参考，未经过烟台大学授权不得商用。

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