下载一种基于激光自混合干涉的校准装置和自动化系统的技术资料

文档序号:23082835

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本发明公开了一种基于激光自混合干涉的校准装置和自动化系统,该校准装置包括:承载单元,其预设定位区域用于承载并初步定位待定位物体,待定位物体朝向自混合干涉单元的一侧贴合设置反射片;自混合干涉单元:包括半导体激光器,发出初始光束,初始光束照射至...
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