下载一种基于激光自混合干涉的定位装置和自动化系统的技术资料

文档序号:23082834

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本发明公开了一种基于激光自混合干涉的定位装置和自动化系统,该定位装置包括:传导单元、定位单元、位移检测单元以及光电探测单元;传导单元用于传输待定位物体至定位单元;定位单元包括相对设置且可相对运动的第一定位块和第二定位块;第一定位块背离第二定...
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