下载带光路漂移补偿的收发分体式五自由度测量装置及方法的技术资料

文档序号:23073905

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本发明公开一种带光路漂移补偿的收发分体式五自由度测量装置及方法,测量装置包括由激光器、第一棱镜反射镜、第一分光镜、第二分光镜、第二棱镜反射镜、第四分光镜、第二凸透镜、第二二维位置敏感探测器、第三凸透镜和第三二维位置敏感探测器构成的激光发射端...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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