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本发明提出了一种新型脊形波导结构及制作方法，具体的制作方法包括以下步骤，S1，在激光器结构材料上制作波导掩膜条；S2，利用腐蚀液I，腐蚀掉波导掩膜条外侧的重掺杂顶接触层；S3，利用腐蚀液II，在InP覆盖包层上腐蚀出倒台结构，所述倒台结构的...
该专利属于河南仕佳光子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南仕佳光子科技股份有限公司授权不得商用。

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