下载一种半导体芯片分选测试装置的上料输送装置及其工作方法的技术资料

文档序号:23024162

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本发明提供了一种对芯片无损伤、自动化程度高的半导体芯片分选测试装置的上料输送装置及其工作方法。包括位于工作台上的托盘上料喂料装置、取托盘装置、取芯片装置和芯片输送装置,托盘上料喂料装置负责将托盘升到合适位置供取托盘装置取托盘,取托盘装置负责...
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