下载用于设计具有用于多阵列交叉方向(CD)幅材制造或处理系统或其他系统的时间上稳健的稳定性和性能的基于模型的控制的方法和装置的技术资料

文档序号:22978597

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本发明提供了一种方法,所述方法包括在具有多个致动器阵列(114,116,118,120)的工业过程(100,302)中获得(902)与基于模型的控制器(104,306)相关联的模型(304)并执行(914)所述控制器的时间调谐。所述时间调谐...
该专利属于霍尼韦尔有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过霍尼韦尔有限公司授权不得商用。

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