下载一种以Zr为基底的Cr-Al合金膜及其制备方法的技术资料

文档序号:22970512

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本发明公开了一种以Zr为基底的Cr‑Al合金膜及其制备方法,其是利用物理气相沉积方法在Zr表面镀覆多元合金膜,属于溅射法镀覆领域。所镀覆合金膜的最终膜厚约为10μm,本发明是以500nm的Cr‑Al合金膜为例,所使用的基底为Zr‑4合金(S...
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