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本发明涉及一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法，矢量水听器包括：多个压电传感芯片、对应的多个后置放大电路，以及灌封结构。压电传感芯片包括：质量块、悬臂梁和“回”形基底支撑结构；质量块与悬臂梁的一端相连；悬臂梁的另一端与“回”形基底支撑结构...
该专利属于中国科学院声学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院声学研究所授权不得商用。

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