下载一种退火炉炉压控制方法及装置的技术资料

文档序号:22911537

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本发明涉及一种退火炉炉压控制方法及装置,该方法应用于退火炉的每个炉段中,每个炉段均设置有注入保护气体的注入管道,所述注入管道上设置有流量控制器,包括:获取所述退火炉当前的炉压值;判断所述炉压值是否满足预设炉压范围;在满足所述预设炉压范围时,...
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