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本发明公开了一种用于长外包壳管的立式磁控溅射镀膜装置，包括壳体，该壳体具有顶部开口的圆柱形腔体；腔体内的底部设置有与壳体外的传动装置连接的转动装置，转动装置上设置有工件架；腔体内壁上沿其轴向安装有若干对靶座底盘，每个靶座底盘上均分布有多个靶...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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