下载一种离子增强型的卷绕式磁控光学镀膜装置的技术资料

文档序号:22860892

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本实用新型公开一种离子增强型的卷绕式磁控光学镀膜装置,包括旋转辊、镀膜室和氧化室,沿基材的输送方向,旋转辊的外侧依次设有镀膜室和氧化室,旋转辊内侧与氧化室的相对之处设有磁铁组件,磁铁组件中,任意相邻的两个磁铁之间,朝向氧化室的端部极性相反;...
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