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本实用新型涉及一种静电除尘装置及磁控溅射系统,所述静电除尘装置设于磁控溅射的真空腔内，包括静电板、连接件、正电压载体和负电压载体；所述静电板为绝缘板；所述连接件的两端分别与所述真空腔的内壁和所述静电板连接；所述正电压载体和所述负电压载体分别...
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