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本申请公开了一种喷淋单元及硅片清洗系统，该喷淋单元包括储水槽、回用水槽、第一喷淋槽和第二喷淋槽，储水槽与所述第二喷淋槽通过第一供水管路相连，第二喷淋槽的排液口通过回水管路连通至所述回用水槽，回用水槽通过第二供水管路与所述第一喷淋槽连通；该硅...
该专利属于楚雄隆基硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楚雄隆基硅材料有限公司授权不得商用。

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