下载用于气动地封阻半成品光学元件的装置的技术资料

文档序号:22821070

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封阻装置包括:支撑构件,所述支撑构件被配置用于向所述半成品光学元件(11)提供刚性支撑,所述支撑构件具有接触面,所述光学元件(11)的第一面(14)要施加到所述接触面上;以及气动封阻构件,所述气动封阻构件限定空腔(30),所述空腔被配置成由...
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