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下载分配系统的技术资料

文档序号:22821036

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公开了一种分配系统,用于将材料喷射到衬底上。该分配系统包括:板,该板限定第一表面、第二表面和至少一个狭槽,该第二表面在第一方向上与第一表面相反,该至少一个狭槽从第一表面到第二表面延伸通过板;和致动器组件,其包含有压电元件并以可操作的方式联接...
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