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本申请公开了一种声波器件,包括由下至上依次层叠的衬底,复合层,电极层,所述复合层具有预设形状的闭合型凹槽,其中,所述复合层包括由下至上层叠的温度补偿层和压电层,所述电极层位于所述凹槽以内的所述复合层的上表面。可见,复合层具有凹槽,电极层位于...该专利属于开元通信技术(厦门)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过开元通信技术(厦门)有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种声波器件,包括由下至上依次层叠的衬底,复合层,电极层,所述复合层具有预设形状的闭合型凹槽,其中,所述复合层包括由下至上层叠的温度补偿层和压电层,所述电极层位于所述凹槽以内的所述复合层的上表面。可见,复合层具有凹槽,电极层位于...