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本发明公开了一种静电式动态可调反射式变焦超表面透镜及其制备方法，属于动态可调超表面领域，包括：玻璃衬底、ITO薄膜、天线、空气间隙、支撑结构、氮化硅薄膜、硅框架和金背板；天线用于入射光相位调控；空气间隙用于提供金背板变形的空间，金背板的最大...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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