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本发明提供一种基于单面工艺的非接触式红外温度传感器的制作方法，包括：于基底中刻蚀凹槽；于凹槽中填充低温气化材料；于基底及低温气化材料上制作非接触式红外温度传感器结构，保留气化通孔；以及在气化气氛下加热低温气化材料，使低温气化材料气化并藉由气...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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