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高开关比石墨烯异质结场效应管制造技术
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文档序号:22804013
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本实用新型公开了一种高开关比石墨烯异质结场效应管,包括衬底,衬底上设有沟道材料层石墨烯,沟道材料层石墨烯中部为栅电极区域,栅电极区域上沉积有栅介质,栅介质上沉积有栅金属以形成栅极,栅电极区域两侧分别为源极区域和漏极区域,源极区域、漏极区域分...
该专利属于湖南工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖南工业大学授权不得商用。
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