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本发明涉及一种向多个流路均匀地供给吹扫气体的多通道流量输出装置，其能够在改变了捕集管的数量的情况下容易地将流量输出端的流量与改变前保持一致而不需要执行繁琐的调节，同时能够提高流量控制的精度。该多通道流量输出装置包括：多通道流路模块，其具有一...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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