下载一种适用于真空低温等离子体处理方式的悬挂支架的技术资料

文档序号:22774062

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本实用新型公开了一种适用于真空低温等离子体处理方式的悬挂支架,包括挂架和挂钩。真空低温等离子腔体内部沿与电极板竖直方向平行设置若干排平行的导轨,所述每个挂架两侧插入相应的导轨内,且挂架能沿着导轨前后移动,挂架上均匀分布有若干挂钩,相邻的挂钩...
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