下载一种超低摩擦系数测量的微悬臂梁探针的加工方法的技术资料

文档序号:22754266

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本发明涉及原子力电镜探针技术领域,提供了一种超低摩擦系数测量的微悬臂梁探针的加工方法,包括步骤1:建立微悬臂梁探针测量摩擦系数的模型;根据原子力显微镜的测量原理,通过探针的扭转和弯曲来分别建立测量摩擦力和正压力的表达式;将表达式联立建立探针...
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