下载真空管阀的密封方法的技术资料

文档序号:2274446

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本发明公开了一种真空管阀的密封方法,其特点是,在真空罐和真空泵之间置有的阀门密封是通过双阀串联而成;管道之间密封是通过聚四氟乙烯生料带和高分子有机树脂间隔涂覆而成。由于采用双阀串联,可使气体泄漏量降低到5×10↑[-3]Pa.L/S以下,有...
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