下载一种多工位抛光装置的技术资料

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本实用新型公开了一种多工位抛光装置,包括一转盘机构,所述转盘机构设有公转电机以及由所述公转电机驱动绕Z轴转动的圆盘,所述圆盘上设有真空汇总安装座,所述真空汇总安装座上设有汇总气室,所述汇总气室分别与负压泵以及正压泵连通,所述汇总气室侧壁设有...
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