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本实用新型公开了一种用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,包括一机台、及设置于机台上的若干废气吸收机构,所述废气吸收机构包括设置于机台上的一气液混合槽、一上酸雾吸收室、堆叠设置上酸雾吸收室下端的一下酸雾吸收室、连接于气液混合槽与上酸雾吸...该专利属于广州德雅新环境科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州德雅新环境科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,包括一机台、及设置于机台上的若干废气吸收机构,所述废气吸收机构包括设置于机台上的一气液混合槽、一上酸雾吸收室、堆叠设置上酸雾吸收室下端的一下酸雾吸收室、连接于气液混合槽与上酸雾吸...