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本发明提供了一种铝铬硼合金靶材，以原子百分比计，其成分包括铝30‑80at％，铬10ˉ50％，硼5‑30at％。本发明还提供了一种铝铬硼合金靶材的制备方法，步骤包括：将铝粉和硼粉在真空或高纯氩气保护条件下混合；将混匀的粉末烧结得到铝硼合金块...
该专利属于河北宏靶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北宏靶科技有限公司授权不得商用。

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