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在本发明的一个实施方案中，硅烷和氢气(以及惰性气体)的混合物是采用硅(或包括硅合金的含硅化合物)与氢源如氢气、氢原子和质子的催化气化而生成。将混合物气体(硅烷、氢气以及惰性气体)共同提纯，而不将硅烷单独从气体混合物中分离纯化，然后作为下游应...
该专利属于储晞所有，仅供学习研究参考，未经过储晞授权不得商用。

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