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多晶硅打磨处理装置制造方法及图纸
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文档序号:22681983
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本发明提供了一种多晶硅打磨处理装置,其采用升降电机控制卷线器调节平衡架端部的升降,从而控制磨具的同步升降微调,同时采用多个磨轮组,按照自多晶硅两侧边缘向中央且以左右交替渐进的顺序与多晶硅接触,打磨多晶硅的表面,并且每个磨轮组内的磨轮同样采用...
该专利属于江苏众鑫磁电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏众鑫磁电有限公司授权不得商用。
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