下载多晶硅打磨处理装置的技术资料

文档序号:22681983

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种多晶硅打磨处理装置,其采用升降电机控制卷线器调节平衡架端部的升降,从而控制磨具的同步升降微调,同时采用多个磨轮组,按照自多晶硅两侧边缘向中央且以左右交替渐进的顺序与多晶硅接触,打磨多晶硅的表面,并且每个磨轮组内的磨轮同样采用...
该专利属于江苏众鑫磁电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏众鑫磁电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。