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本实用新型提供一种用于加热管路内气体的加热设备，包括箱体，加热棒、加热部件、感温棒、气体管路和控制器；所述气体管路是由多根单管通过成品弯头连接构成的回形管路；所述加热部件由多块加热部件单元通过螺丝组装拼接而成，所述加热部件单元的横向方向等间...
该专利属于上海盛韬半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海盛韬半导体科技有限公司授权不得商用。

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