下载热场结构及G7型多晶炉的技术资料

文档序号:22671853

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本实用新型提供一种热场结构,包括热屏、笼底、加热装置及笼底热门;其中,所述热屏和所述笼底热门共同围成一端具有开口的笼腔,所述笼底贴合设置于所述笼底热门,共同设置于所述热屏的下方;所述笼底的外周与所述热屏的内壁设有缝隙,以便气体能够从所述笼腔...
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