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等离子体发生装置制造方法及图纸
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下载等离子体发生装置的技术资料
文档序号:22662670
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本发明提供一种等离子体发生装置,通过一对电极的端部之间的放电来产生等离子体,所述一对电极以彼此的侧面相向的状态配设,一对电极的放电侧的端面被切成彼此相对。...
该专利属于株式会社富士所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社富士授权不得商用。
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